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光學(xué)反光罩清洗技術(shù)

更新時(shí)間:2014-07-15      點(diǎn)擊次數(shù):1460
      一、清洗工藝流程

      1槽超聲波洗劑洗----2槽超聲波洗劑洗----3槽超聲波市水漂洗----4槽超聲波市水漂洗----5槽超聲波市水漂洗---6槽超聲波純水漂洗----7槽超聲波純水漂洗----8槽超聲波純水漂洗---9槽IPA超聲波漂洗----10槽IPA 超聲波漂洗----11槽IPA 超聲波漂洗----12槽IPA蒸汽干燥

      二、設(shè)備組成

       其他組成部分由儲(chǔ)液槽、自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)、手動(dòng)排液系統(tǒng)、循環(huán)過濾系統(tǒng)、機(jī)械手、自動(dòng)進(jìn)出料臺(tái)、拋動(dòng)系統(tǒng)、抽氣裝置、整機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、超聲系統(tǒng)

      三、工作原理

       首先操作人員將工件放進(jìn)夾具,然后將夾具放進(jìn)清洗籃,由機(jī)械手A送至*工位經(jīng)過超聲、拋動(dòng)開啟,清洗完畢后再由機(jī)械手A送至第二、三、四工位,再由機(jī)械手B送至第五、六、七、八 工位,zui后由機(jī)械手C送至第九、十、十一、十二工位以及下料工作臺(tái),出料后操作人員取出工件,進(jìn)人下道工序。

      
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